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因氦氣的分子非常小，可偵測出非常小之漏點，如果說保壓測試是測大漏，氦測漏則是測小漏，在莊達人所著的VLSI制造技術一書中提到（氣體管路的漏率在每秒10E-9CC才可以送氣）如此才不會造成危險。