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特氣管道五項檢測
顆粒度檢測
產(chǎn)品描述:
particle在半導(dǎo)體廠中是不良率禍首之一,尤其在現(xiàn)在的制程越來越小的情況下,如管路中含有過多的particle,對生產(chǎn)加工的良率影響很大
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高純氣體分析檢測
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氣體顆粒度分析檢測
管道檢漏
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氦質(zhì)譜儀檢漏
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產(chǎn)品詳情
規(guī)格參數(shù)
particle在半導(dǎo)體廠中是不良率禍首之一,尤其在現(xiàn)在的制程越來越小的情況下,如管路中含有過多的particle,對生產(chǎn)加工的良率影響很大
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